四質譜計是在高真空條件下,離子源的電子轟擊氣體分子使其離化。離子進入四過濾器按不同質荷比分離,采集離子流,放大后進行數據處理,獲得相應的質譜數據。
四質譜計可安裝在使用者的高真空設備上進行殘氣分析,亦可配備適當的高真空系統(tǒng)和進樣裝置作為立的分析儀器使用。離子流采集的常規(guī)結構為法拉弟筒 / 通道倍增器復合式(即 FC/CEM )。離子流放大器的輸入高阻設為10M Ω ,1G Ω,100G Ω 三擋,采用電子倍增器方式時一般選用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。儀器控制與數據處理系統(tǒng)適用于WindowsXP或 Windows2000,儀器提供模擬譜圖,棒狀譜圖和多達10個離子的多離子監(jiān)測譜圖。數據系統(tǒng)的接口界面由80C 196單片機(16位)以及 A/D、D/A 等構成, RS232 串口與電腦通訊實現(xiàn)儀器的控制與數據處理。儀器安裝方便,操作簡單,
四質譜計應用與真空科學、電子、半導體工業(yè)、石油化工的催化研究等多種領域。另外,本儀器可以派生為儀器,如,已用于計量作為鑒定分子漏孔的氦四質譜計。