微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測(cè)試產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀是參照半導(dǎo)體設(shè)備和材料SEMI標(biāo)準(zhǔn)MF1535-0707及標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26068-2010。
微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀采用微波反射無(wú)接觸光電導(dǎo)衰退測(cè)量方法,適用于硅塊少數(shù)載流子壽命的測(cè)量,壽命測(cè)量可反映半導(dǎo)體重金屬污染及缺陷存在的情況,是半導(dǎo)體的重要檢測(cè)項(xiàng)目。
微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測(cè)試參數(shù):
讀數(shù)方式:數(shù)字直讀
壽命測(cè)量范圍:0.25μs-10ms
樣品電阻率下限>0.5Ω·cm
高頻光電導(dǎo)少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀備注:WJ-100B型微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀用于測(cè)量棒狀樣品,測(cè)量片狀樣品選用WJ-100A型微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀! |